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发布时间:2020-10-01 14:12:47
真空电镀机的操作规范
1.正常工作的真空电镀机在开动时,需要先将水管打开,在真空电镀机运行之中要时刻注意水压的状态;
2.在离子轰击和蒸发时,要特别注意线路方面的情况,不得触动高压线头,以防触电;
3.在用真空电镀机的电子枪的时候,要在钟罩的外面围上一定的防护措施,在观察真空电镀机内部工作状态的时候,需要隔着一定的防护玻璃,观察者建议戴上铅玻璃的研究,以防X射线对***造成危害;
真空电镀机维修注意事项
4.在对多层介质膜进行镀膜时,要记得安装好通风吸尘装置,及时对***粉尘进行清除;
5.真空电镀机的酸洗装置需在通风装置内进行操作,且操作时工作人员应戴好橡胶手套;
6.真空电镀工作完毕之后,应进行断水和断电的操作,防止出现资源浪费和设备意外。
真空电镀机的***方法
1、真空电镀机每完成两百次以上的电镀工作时,应对工作室进行一次清洁,清洁的方法主要为用擦洗真空室内壁,使内壁上的铝和发生反应脱落并释放氢气,而后再用清水清洗一遍,后擦拭其他部位的污垢。
2、当真空电镀机的阀门或者泵连续工作一个月之后,需要对其机油进行更换,如果是在雨季情况下工作,则半个月就应更换一次。
3、如果真空电镀机的扩散泵连续使用了半年或者以上,则抽速会明显变慢,此时应当将水管和电炉盘拆下,用将泵内清洗一次,在用洗涤剂清洗一次,后用清水再冲洗一次。这样清洗完毕之后即可等待水份会发完成再次安装重新使用。在重新安装的时候要注意先对设备进行检漏。
磁控溅射镀膜设备溅射方式
清洗过程简化
现有镀膜工艺,多数均要求事先对工件进行严格清洗,既复杂又费事。然而,离子镀工艺自身就有一种离子轰击清洗作用,并且这一作用还一直延续于整个镀膜过程。清洗效果较好,能使镀层直接贴近基体,有效地增强了附着力,简化了大量的镀前清洗工作。
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真空电镀机操作注意事项
左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。
当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。
发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。
发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。
旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
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