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离子束

1.蚀刻加工：离子蚀刻用于加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的沟槽，大样片离子束刻蚀机工作原理，分辨率高，精度、重复一致性好。离子束蚀刻应用的另一个方面是蚀刻图形，大样片离子束刻蚀机，如集成电路、光电器件和光集成器件等征电子学构件。太阳能电池表面具有非反射纹理表面。离子束蚀刻还应用于减薄材料，制作穿透式电子显微镜试片。2.离子束镀膜加工：离子束镀膜加工有溅射沉积和离子镀两种形式。离子镀可镀材料范围广泛，不论金属、非金属表面上均可镀制金属或非金属薄膜，各种合金、化合物、或某些合成材料、半导体材料、高熔点材料亦均可镀覆。

刻蚀技术

由于***束不同，刻蚀技术可以分为光刻蚀（简称光刻）、X射线刻蚀、电子束刻蚀和离子束刻蚀，其中离子束刻蚀具有分辨率高和感光速度快的优点，是正在开发中的新型技术。

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离子束刻蚀

离子束刻蚀是通过物理溅射功能进行加工的离子铣。国内应用广泛的双栅考夫曼刻蚀机通常由屏栅和加速栅组成离子光学系统，其工作台可以方便地调整倾角，大样片离子束刻蚀机价格，使碲镉基片法线与离子束的入射方向成θ角，并绕自身的法线旋转

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