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磁控溅射镀膜的特点

1、靶材粒子能量高（比热蒸发高出1个数量级），所制备膜层更致密，与石英片结合力更高：

2、一般备有辅助离子源，可以用来清洗石英片，清洗效果好；

3、易于制备熔点高的材料；

4、制备合金膜层，可以保证膜层材料比例与靶材相同；

5、由于装有中和器，也可以用来制备绝缘膜层。

创世威纳本着多年 磁控溅射镀膜机行业经验，专注 磁控溅射镀膜机研发定制与生产，***的 磁控溅射镀膜机生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的***电话！！！

磁控溅射镀膜仪设备在工业中有什么优势

磁控溅射镀膜仪设备发展至今，在工业方面显的极为重要，其作用范围广泛，彻底的改变了传统的镀膜行业。使得镀膜作业在生产质量方面以及效率方面都得到了较大的提升。那么磁控溅射镀膜仪设备在工业中有什么优势呢？

磁控溅射镀膜仪设备主要有一下优势：

1、沉积速度快、基材温升低、对膜层的损伤小；

2、对于大部分材料，只要能制成耙材，就可以实现溅射；

3、溅射所获得的薄膜与基片结合较好；

4、溅射所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好；

5、溅射工艺可重复性好，可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜；

6、能够准确控制镀层的厚度，同时可通过改变参数条件控制组成薄膜的颗粒大小；

7、不同的金属、合金、氧化物能够进行混合，同时溅射于基材上；

8、易于实现工业化。

随着科技的发展，磁控溅射镀膜仪设备在日常中个方面都有着极大的贡献，不仅在节能环保方面有着重大的提升，更为重要的是其解放了劳动人民的双手，让劳动者彻底的从传统镀膜行业中解放。

溅射原理

以下是创世威纳为您一起分享的内容，创世威纳***生产磁控溅射镀膜设备机，欢迎新老客户莅临。

1.1 溅射定义

就像往平静的湖水里投入石子会溅起水花一样，用高速离子轰击固体表面使固体中近表面的原子（或分子）从固体表面逸出，这种现象称为溅射现象。

1.2 溅射的基本原理

溅射是指具有足够高能量的粒子轰击固体表面使其中的原子发射出来。早期人们认为这一现象源于靶材的局部加热。但是不久人们发现溅射与蒸发有本质区别，并逐渐认识到溅射是轰击粒子与靶粒子之间动量传递的结果。

磁控溅射原理

溅射过程即为入射离子通过--系列碰撞进行能量和动量交换的过程。

电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与Ar原子发生碰撞，电离出大量的Ar离子和电子，电子飞向基片，在此过程中不断和Ar原子碰撞，产生更多的Ar离子和电子。（6）在机械加工行业中，表面功能膜、超硬膜，自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展，能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能，从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。Ar离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。

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