聚焦离子束刻蚀机哪家好-聚焦离子束刻蚀机-创世威纳科技

离子束刻蚀的入射角

在离子束刻蚀过程中，选择合适的入射角可以提高刻蚀效率，这只是一个方面。另一个方面是靠合适的入射角度控制刻蚀图形的轮廓。下图给出了不同角度的刻蚀结果。

创世威纳公司拥有***的技术，我们都以质量为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对离子束刻蚀机产品感兴趣，欢迎点击左右两侧的在线***，或拨打咨询电话。

离子束刻蚀机的应用

创世威纳——***离子束刻蚀机产品供应商，聚焦离子束刻蚀机，我们为您带来以下信息。

应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺，显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。由于没有活动部件，抗振动和抗冲的能力很强，可用于恶劣的环境。

离子束刻蚀机

高精度加工

离子束刻蚀可达到很高的分辨率，聚焦离子束刻蚀机哪家好，适合刻蚀精细图形。离子束加工小孔的优点是孔壁光滑，聚焦离子束刻蚀机报价，邻近区域不产生应力和损伤能加_工出任意形状的小孔，且孔形状只取决于掩模的孔形。

加工线宽为纳米级的窄槽是超精微加工的需要。如某零件要求在10nm的碳膜上，用电子束蒸镀10nm的金一铝(60/40)膜。

首先将样品置于真空系统中，其表面自然形成---种污染抗蚀剂掩模，用电子束***显影后形成线宽为8nm的图形，然后用ya离子束刻蚀，离子束流密度为0.1mA/cm， 离子能量是1keV;另一种是在20nm厚的金一钯膜上刻出线宽为8nm的图形、深宽比提高到2.5:10。 由此可见离子束加工可达到很高的精度。