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发布时间:2020-03-29 06:23:16
离子束刻蚀机
具有一定能量的离子束轰击样品表面,把离子束动能传给样品原子,使样品表面的原子挣脱原子间的束缚力而溅射出来,大样片离子束刻蚀机工作原理,从而实现刻蚀目的。这是纯粹的物理溅射过程。
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石英晶体谐振器制作
石英晶体的谐振频率与其厚度有关。用机械研磨和抛光致薄的晶体,可制作低频器件,但频率超过20MHz时, 上述工艺已不适用因为极薄的晶片已不能承受机械应力。采用离子束抛光,可以不受此限制。石英晶体谐振器的金属引线要求重量轻、低电阻,通常用铝沉积在晶体表面沟槽中,大样片离子束刻蚀机多少钱,以高电导率铝作引线电极。用离子束溅射加工晶体_上的沟槽是有效的方法。
离子束刻蚀机
离子束刻蚀是从工件上去除材料,是一个撞击溅射过程。
当离子束轰击工件,入射离子与靶原子碰撞时将动能传递给靶原子,使其获得的能量超过原,子的结合能,导致靶原子发生溅射,山西大样片离子束刻蚀机,从工件表,面溅射出来,以达到刻蚀的目的。
刻蚀加工时,对离子入射能量、束流大小、离子入射角度以及工作室压力都需要根据不同的加工需求进行调整。
离子束刻蚀可以在高精度加工、表面抛光、石英晶体谐振器制作等方面得到应用。
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