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发布时间:2019-12-12 08:11:54
离子束刻蚀机
具有一定能量的离子束轰击样品表面,把离子束动能传给样品原子,使样品表面的原子挣脱原子间的束缚力而溅射出来,从而实现刻蚀目的。这是纯粹的物理溅射过程。
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离子束刻蚀
离子束刻蚀是利用具有一定能量的离子轰击材料表面,使材料原子发生溅射,离子束刻蚀机报价,从而达到刻蚀目的.把Ar、Kr或Xe之类惰性气体充入离子源放电室并使其电离形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,具有一定能量的离子束进入工作室,射向固体表面撞击固体表面原子,使材料原子发生溅射,达到刻蚀目的,属纯物理过程。
离子束刻蚀机
离子束技术的应用涉及物理、化学、生物、材料和信息等许多学科的交叉领域。离子束加工在许多精密、关键、高附加值的加工模具
等机械零件的生产中得到了广泛应用。一些***用于军事装备的建设上,如改善蜗轮机主轴承、精密轴承、齿轮、冷冻机阀门和活塞的性能。离子注入半导体掺杂已成为超大规模集成电路微细加工的关键工艺,导致出现了80年代集成电路产业的腾飞。
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